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　　3 LCoS的關(guān)鍵技術(shù)

　　綜上所述，LCoS是LCD與LSIC相結(jié)合的結(jié)晶產(chǎn)物。故它具有該兩大行業(yè)的一般技術(shù)特征。但它的特殊結(jié)構(gòu)與機(jī)理又決定其特殊的技術(shù)要求與特征。

　　在制造LCoS過(guò)程中，除需原有的液晶和半導(dǎo)體常規(guī)成熟的工藝與技術(shù)外，還需如下一些的關(guān)鍵技術(shù)。

　　3.1特殊的材料技術(shù)

　　（1）特殊液晶混合配方材料

　　配制該材料是為了適用于投影電視光源投射時(shí)的溫度，應(yīng)能在50℃較高溫度下正常工作。為滿足視頻圖像顯示的需求，顯示材料應(yīng)有較快的響應(yīng)速度。為能與僅有1~2μm的盒厚相匹配，顯示材料應(yīng)具有較高的介電常數(shù)等。

　　（2）超常平整度、高導(dǎo)電率、高透射率及低膨脹系數(shù)的氧化銦錫（ITO）玻璃基板

　　LCoS的液晶盒是由硅片和玻璃基板封接而成，故所用的玻璃基板的膨脹系數(shù)需接近于硅片的膨脹系數(shù)。由于盒厚僅1~2μm，故表面應(yīng)很平整，又由于光學(xué)和驅(qū)動(dòng)上的需求，其表面的ITO膜層應(yīng)是高透射率及高導(dǎo)電率。

　　3.2特殊的工藝技術(shù)

　�。�1）在制作硅片上

　�、傩柙趩尉Ч杌现瞥蒟-Y像素矩陣下的有源矩陣；

　�、谛柙诿總€(gè)有源像點(diǎn)上制成一個(gè)要有一定一致性的補(bǔ)償電容；

　�、壑谱髡诠鈱�；

　�、苤谱�1~2μm的盒厚襯墊；

　�、菹袼乇砻婊瘜W(xué)拋光；

　　⑥像素表面蒸鍍反光層；

　　⑦硅片上的外引線連接。

　　（2）在制作液晶盒上

　�、偬厥饬慵膬艋僮鳎�

　�、�1~2μm盒厚的控制與封接技術(shù)；

　�、劾硐氲囊壕Х肿佣ㄏ蚬に�技術(shù)；

　�、鼙『械囊壕Ч嘧�技術(shù)；

　�、蒿@示模塊制造工藝技術(shù)。

　　3.3特殊的設(shè)計(jì)技術(shù)

　　特殊的設(shè)計(jì)技術(shù)包括液晶與IC的綜合設(shè)計(jì)與制版。

　　3.4特殊的檢測(cè)技術(shù)

　　特殊的檢測(cè)技術(shù)是控制LCoS質(zhì)量之關(guān)鍵，LCoS需有一些不同于普通IC和LCD的特殊電參數(shù)與光參數(shù)的檢測(cè)技術(shù)。還需有專(zhuān)業(yè)測(cè)試分析軟件，其中包括數(shù)據(jù)回放軟件、時(shí)域分析軟件及頻域分析軟件。

　　3.5特殊的配套技術(shù)

　　LCoS的顯示必需借助配套的光路系統(tǒng)方能實(shí)現(xiàn)。按不同的用途，可有如下各種方式，它們對(duì)LCoS至關(guān)重要。

　�。�1）投影系統(tǒng)（前投式或背投式）

　　長(zhǎng)壽命、高效率、高色溫及色還原性佳的光源；

　　起偏光與檢偏光系統(tǒng)；

　　分色鏡及循環(huán)性光掃描系統(tǒng)；

　　光路放大、消像差及消色差短焦距光學(xué)鏡頭；

　　光路高利用率的設(shè)計(jì)；

　　高精密結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與加工；

　　降溫與控溫系統(tǒng)；

　　屏幕設(shè)計(jì)與制造技術(shù)。

　　（2）隨身看顯示裝置

　　將LCoS顯示的小型圖像借助光學(xué)裝置放大成一個(gè)直視式大屏幕虛像，是LCoS實(shí)現(xiàn)顯示的另一種方式。該裝置可制成比眼鏡還小，使用時(shí)可像眼鏡一樣戴在眼前，經(jīng)光學(xué)裝置放大即可將LCoS的顯示畫(huà)面在人的眼前放大成一幅大屏幕虛像。可采用單目顯示，用于計(jì)算機(jī)、個(gè)人數(shù)字處理機(jī)及通信等產(chǎn)品上；亦可采用雙目顯示，制成眼罩式電視、立體電視及虛擬現(xiàn)實(shí)（VR）顯示等�？蓪⑵浜�(jiǎn)便地裝入隨身攜帶的包中，便于隨時(shí)拿出來(lái)觀看。其光學(xué)裝置的關(guān)鍵技術(shù)如下：

　�、� 紅、綠、藍(lán)三基色光循環(huán)性掃描裝置；

　　② 起偏與檢偏裝置；

　�、� 消色差與消像差短焦距光學(xué)鏡頭；

　�、� 微型精密結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)技術(shù)。

　　上述關(guān)鍵技術(shù)有些是可從其他技術(shù)中借鑒或移植過(guò)來(lái)，而有些則必需進(jìn)行創(chuàng)新。實(shí)際上，上述關(guān)鍵技術(shù)在國(guó)內(nèi)外研制與開(kāi)發(fā)LCoS過(guò)程中業(yè)已獲得滿意的解決。


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